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          精密掃描臺在精密定位領域中的應用
            精密掃描臺是以壓電陶瓷作為驅動源,結合柔性鉸鏈機構實現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動的壓電平臺,壓電掃描臺中心具有通孔且體積小巧、無摩擦、分辨率高、響應速度快,配置高精度傳感器,可以實現納米級分辨率及定位精度且具有可靠性。產品主要應用于透光精密光學器件的定位與調整、生物顯微與光學顯微成像系統等。
           
            精密掃描臺由容性負載驅動,可產生毫秒級的響應時間,響應速度非???,同時由于自身的材料特性,使其在使用過程中不受干擾,能夠實現性能輸出。
           
            壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅動源,結合柔性鉸鏈機構實現X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運動的壓電平臺。運動范圍大可達375μm,具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點,配置高精度傳感器,可以實現納米級分辨率及定位精度且具有可靠性,壓電納米定位臺在精密定位領域中發揮著至關重要的作用。
           
            壓電納米運動系統采用有限元仿真分析優化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有高的導向精度,具有高剛性、高負載、無磨損、免維護等特點。同時壓電效應將電能直接轉換為運動,在靜態操作時,即使在負載情況下,也不會消耗功率。
           
            壓電掃描臺是以壓電陶瓷作為驅動源,壓電陶瓷是高精度致動器,通過控制電壓的微小變化產生非常小的位移,可達到亞納米級。從適用于小型設備(如紅外熱成像)的小通孔壓電掃描臺到大型設備(如大口徑干涉儀)用的大通孔壓電掃描臺,多種規格型號可選。
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