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          壓電移相器在干涉測量中的應用
            壓電移相器是基于壓電陶瓷設計并通過驅動壓電陶瓷產生微運動來實現移相功能的,在電壓信號的控制下產生納米級步進運動,完成干涉中要求的微小移相運動。
           
            壓電移相器由兩部分組成,壓電陶瓷驅動與手調微動螺釘。為保證對位移的高分辨率要求,壓電陶瓷移相器采用壓電陶瓷直驅技術結構,確保陶瓷的高分辨率可以直接輸出,而不受外部機械結構的影響。手調微動螺釘則采用高精螺絲和襯套,保證了手動調節的精度。
           
            移相干涉技術是一種利用干涉圖對光學元件進行測量的技術,其中核心部件為移相器,一般常用微位移運動器件驅動實現。壓電式移相器,以其優良的測試精度而被廣泛用于各種現代干涉儀器中,并被廣泛地應用于各個領域。
           
            壓電式移相器是由壓電控制器所驅動,它所能移動的位移與壓電控制器施加于它的電壓信號有關,并與其大小成線性關系。壓電式移相器具有體積小巧、高精度、納米級高分辨率、響應速度快、高剛度、控制簡單且不受磁場影響等優點。
           
            壓電陶瓷移相器的內部是由壓電陶瓷驅動,它由直流電壓信號來控制,在150V電壓下產生的位移約0.7µm,可用于快速步進移相應用。壓電陶瓷移相器的驅動電壓上限為800V,在此電壓下,產生的位移約3.73µm。
           
            該壓電移相器是專為移相應用而設計,可通過電壓控制進行超快速步進調節,同時,可通過手動調節θx、θy兩軸的偏轉角度,角度調節范圍可達±4°。將鏡片調節與移相步進結合,使其更方便于像移、干涉測量等應用。
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