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          產品名稱:芯明天壓電陶瓷促動器宏微復合機構

          產品型號:P83/P84

          產品報價:

          產品特點:芯明天壓電陶瓷促動器宏微復合機構 P83系列壓電驅動測微頭是將標準的測微頭與可產生高分辨率位移的壓電陶瓷相結合,通過手動調節大范圍的測微頭實現13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm,再通過控制驅動電壓使壓電陶瓷相應伸長或縮短到預定位置,從而實現對壓電陶瓷驅動測微頭高分辨率的精調節,

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          P83/P84芯明天壓電陶瓷促動器宏微復合機構的詳細資料:

              芯明天壓電陶瓷促動器宏微復合機構P83系列壓電驅動測微頭是將標準的測微頭與可產生高分辨率位移的壓電陶瓷相結合,通過手動調節大范圍的測微頭實現13mm大范圍的位移,測微頭的分辨率是10μm,再通過控制驅動電壓使壓電陶瓷相應伸長或縮短到預定位置,從而實現對壓電陶瓷驅動測微頭高分辨率的精調節,壓電陶瓷行程范圍可達20μm,壓電陶瓷運動的分辨率可<1nm,這個壓電驅動測微頭可以對元件進行大行程、高精度定位。

               芯明天壓電陶瓷促動器宏微復合機構P84系列壓電驅動測微頭是將測微頭與高分辨率的壓電陶瓷結構相結合,通過手動調節測微頭實現大范圍的位移, 再通過控制驅動電壓使壓電陶瓷相應伸長或縮短到預定位置,從而實現對壓電陶瓷驅動測微頭的精調節,壓電陶瓷行程范圍可達110μm, 壓電陶瓷運動的分辨率達2.5nm,測微頭的分辨率是10μm,整體結構可以對元件進行大行程、高精度定位。

          技術參數

          型號

          P84.X100S

          P84.X100K

          P83.X25S

          P83.X25K

          單位

          運動自由度

          X

          X

           

          傳感器類型

          SGS

          SGS

           

          標稱行程范圍

          (0 ~+120 V)

          80

          20

          µm±20%

          zui大行程范圍

          (-20 ~+150 V)

          110

          28

          µm±20%

          測微頭行程

          13

          13

          mm

          分辨率

          7,2.5

          1.5,0.5

          nm

          測微頭分辨率

          10

          10

          um

          閉環線性度

          0.15

          0.2

          %F.S.

          重復定位精度

          0.05

          0.1

          %F.S.

          推/拉力

          16,4

          20,5

          N

          剛度

          1

          2

          N/mm±20%

          靜電容量

          1.8

          1.8

          μF±20%

          材質

          鋼、鋁

           

          重量

          0.1

          0.1

          Kg±5%

          出線長

          1.5

          1.5

          m±10mm

           

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